2021年3月17日，FPD/SEMICON China 2021在上海新国际博览中心拉开帷幕。本届展会以“跨界全球，心芯相联”为主题，聚焦全球半导体产业格局、市场走势与前沿技术。佳能集团旗下公司——佳能光学设备（上海）有限公司携佳能机械公司（Canon Machinery）、佳能安内华公司（Canon ANELVA）以及佳能特机公司（Canon Tokki），以展板与实物展示相结合的方式，展示了包括半导体曝光设备、FPD曝光设备、半导体用设备、真空零部件、OLED显示制造设备在内的多种产品，为中国市场带来了在半导体与FPD生产制造领域的多样化解决方案。自成立以来，佳能光学设备（上海）有限公司持续为佳能集团在中国大陆地区提供半导体及平板显示制造设备营业辅助与技术支持，已连续九年参展FPD/SEMICON China。
佳能亮相FPD/SEMICON China 2021
自1970年正式进军半导体光刻机领域以来，佳能1坚持秉承工匠精神，历经半个多世纪技术积累，不断升华产品技术。如今，在5G、物联网、大数据、云计算、人工智能发展的新应用和新要求下，佳能也在快速实现技术优化升级、产品更新迭代。佳能光刻机于上世纪九十年代进入中国市场，为中国半导体及FPD事业高速蓬勃发展贡献力量已近三十载，深得中国市场及客户高度、广泛好评。
借助本次展会契机，佳能展示了多款满足中国客户新型需求的i线光刻机2以及KrF光刻机3产品。新推出的i线步进式光刻机“FPA-3030i5a”能够在实现多种半导体器件制造的同时，有效降低拥有成本，并为未来有望需求大增的车载功率器件和5G通信器件等半导体器件的生产提供支持。
“FPA-3030i5a ”可制造多种半导体器件并降低拥有成本
此外，佳能还展示了两款面向后道工序的半导体光刻机，分别为i线步进式光刻机“FPA-8000iW”和“FPA-5520iV LF Option”。其中，“FPA-8000iW”作为佳能半导体光刻机产品线中首个可对应大型方形基板的光刻机，具有高解像力、大视场曝光以及高产能的性能与特征。
“FPA-8000iW”是佳能半导体光刻机产品线中首个可对应大型方形基板的光刻机
同期展出的i线步进式光刻机“FPA-5520iV LF Option” 可以实现大视场下电路图形的曝光、异构封装4等多种先进封装技术，满足高性能先进封装、精细重布线的需求。
“FPA-5520iV LF Option”可满足高性能先进封装、精细重布线的需求
除i线步进式光刻机外，在佳能光刻机阵容的另一条产品线——KrF光刻机方面，佳能展示了包括新推出的“FPA-3030EX6 KrF”在内的产品。该产品能够支持模拟芯片制造，应用于物联网前沿技术领域，及电力设备（Power Device）的传感器和通信设备。
“FPA-3030EX6 KrF”
佳能安内华（Canon ANELVA）在半导体和电子部品设备领域拥有超过50年的发展历史，推出了多种应用于半导体配线、新型存储器（MRAM）、图像传感器、滤波器、掩膜版基板的溅射设备，以及作为真空设备基础的真空泵、真空计和测漏仪。近期佳能安内华（Canon ANELVA）为满足中国半导体市场发展需求推出的应用于新型存储器（MRAM）的溅射和刻蚀设备，在全球市场的占有率分别达到了75%和50%。
“NC7900”是应用于新型存储器（MRAM）的PVD设备
在半导体后道封装领域，佳能也不断追求技术创新。本次展会期间，佳能通过展板展示了适合高密度框架、小芯片的12英寸固晶机“BESTEM-D510”。该产品从中国市场特点出发，为客户带来高性价比的固晶工序解决方案，为满足中国的市场需求精益求精。
应用于高密度Lead frame、小芯片封装的12英寸固晶机“BESTEM-D510”
在FPD曝光设备方面，佳能也在不断推陈出新。本次展会期间，佳能带来了为应对新一代中小型显示面板市场高精细化趋势而推出的新产品 “MPAsp-E903T”，该产品可以实现多种面板的生产制造，满足智能手机显示面板薄型化、轻量化、折叠式应用等多样化需求。
应用于高精细中小型显示面板制造的“MPAsp-E903T”
此外，佳能还在现场设置了实物静态展示区，展示了佳能安内华（Canon ANELVA）真空零部件设备。佳能安内华（Canon ANELVA）作为一家真空产品综合生产商，其业务领域覆盖从真空生成（低温泵与离子泵）、真空测量（真空计）到真空检测（质谱仪与氦检漏仪）。在本次展会上主要展示了目前佳能安内华（Canon ANELVA）的主流产品——全系列真空计及残留气体分析仪。
佳能安内华（Canon ANELVA）真空零部件在展会进行静态展示
除了以多种方式在现场展示的产品外，佳能还拥有支持摩尔定律(More Moore)芯片超小化继续演进的20nm以下高端光刻机，另外可以提供超越摩尔定律(More than Moore) 所要求的多品种光刻机、PVD、Die Bonder以及FPD用高端蒸镀机，以丰富的产品矩阵和多样化解决方案全方位满足客户需求。未来，佳能将继续提升光刻设备技术，投入更大力量进行研发与创新，以高质高效的产品、解决方案与服务，进一步拓展佳能在中国市场的业务领域，实现客户价值最大化，助力中国经济的快速发展。
3月17日到19日期间，欢迎莅临上海新国际博览中心N1馆1201，品鉴佳能最新的技术和设备。
如需了解更多参展详情，可垂询：蔡燕 （021）2316 3250
为方便读者理解，本文中佳能可指代：佳能（中国）有限公司，佳能股份有限公司，佳能光学设备（上海）有限公司，佳能品牌等
使用i线（水银灯波长 365nm）光源的半导体曝光装置。1nm（纳米）是10亿分之1米。
使用波长248nm，由氪（Kr）气体和氟（F）气体产生的激光的半导体光刻机。
封装将不同类型的芯片组合在一起，例如CPU和DRAM、CPU和GPU。通过将不同芯片彼此靠近放置并将其许多电路连接并集成在一起，以提高处理能力。
佳能光学设备（上海）有限公司介绍
佳能光学设备（上海）有限公司是佳能在中国大陆地区成立的提供半导体及液晶面板生产设备营业辅助业务和技术支持业务的公司。所经营的产品除了佳能股份有限公司制造的半导体及液晶面板生产用曝光装置以外，还包括佳能机械公司，佳能安内华公司以及佳能特机公司承接的全部半导体及液晶面板生产设备。
佳能在中国大陆地区从事半导体及液晶面板生产设备业务的历史可以追溯到20世纪80年代，当时开始向中国出口半导体曝光装置（接近式曝光装置、镜面投影式曝光装置）。20世纪90年代又为上海地区的半导体客户企业提供了i线Stepper、等离子除胶设备、常压成膜设备等各类佳能集团制造的半导体设备。进入21世纪，随着中国半导体前道工艺的迅速发展，佳能进一步将KrF Scanner等高端的半导体光刻装置引进到国内。当时，佳能与三井物产集团建立了合作伙伴关系，进一步扩大了在中国的产品销售范围，在中国的液晶面板生产设备市场也得到了顺利的拓展，其中佳能的液晶面板曝光装置从中国液晶产业初期开始始终保持着极高的市场占有率。
如今，在半导体、液晶面板以及有机EL板等高科技制造业领域，佳能正在加快向亚洲生产基地、尤其是向中国市场的投资转移。今后佳能光学设备（上海）有限公司将作为佳能集团与顾客之间的桥梁，进一步加强对客户企业的支持力度，力争以此实现提高顾客满意度、扩大事业规模的目标。
佳能光学设备（上海）有限公司 销售部
毛晓敏
电话：（021）2316 3239
Email：mao.xiaomin@canon-ie.com.cn
地址：上海市南昌路45号城汇大厦18楼
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佳能光学设备（上海）有限公司 销售部
陶原
电话：（021）2316 3279
Email：tao.yuan@canon-ie.com.cn
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佳能集团介绍
佳能自1937年开始创业。秉承“共生”的企业理念，佳能以创造世界一流产品为奋斗目标，不断向多元化和全球化发展。目前，佳能的事业以光学技术为核心，涵盖了办公产品、影像系统产品、医疗系统产品以及产业设备及其他产品等广泛领域。位于东京的集团总部与美洲、欧洲、亚洲、大洋洲以及日本的各区域总部紧密联系，构筑了全球化与本土化有机结合的经营体制。1996年，佳能启动了旨在实现以技术服务社会，成为全球范围内被信赖、受尊敬的企业为目标的“全球优良企业集团构想”。（此数据截止至2020年12月31日）
佳能亚洲营销集团介绍
佳能亚洲营销集团是佳能五大营销集团之一，下辖佳能(中国)、佳能香港、佳能台湾、佳能韩国、佳能新加坡、佳能泰国、佳能马来西亚、佳能菲律宾、佳能印度、佳能越南等13家集团公司。在“感动常在”口号的指引下，佳能亚洲营销集团始终以创造世界卓越产品和提供优质服务为奋斗目标，积极推动事业向多元化和全球化发展，在办公产品、影像系统产品以及产业设备及其他产品等广泛领域都发挥着巨大的作用。佳能亚洲营销集团总部是位于北京的佳能（中国）有限公司，在佳能（中国）的带领下，佳能亚洲营销集团加强了多种经营的战略，在全球市场占有越来越重要的位置。（以上数据截止至2020年12月31日）
佳能（中国）有限公司介绍
佳能的中国事业始于上个世纪70年代末。从最初的技术合作到独资建厂再到成立销售公司，经历了多种经营模式的探索。1997年3月，佳能（中国）有限公司成立，全面负责佳能在中国市场销售的各项工作。经过多年努力，目前业务已经覆盖影像系统产品、办公产品、产业设备及其他产品领域，已基本建成包括5大区域总部在内的17个分支机构以及5个展厅、6个快修中心、9个快捷服务站等组成的销售服务网络。佳能（中国）将深深植根于中国市场，致力于成为一家被中国人民信赖、尊敬的企业。（以上数据截止至2020年12月31日）
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佳能（中国）有限公司 公共关系部
冯秀玮
电话：（010）8513 9311
Email：xiuwei_feng@canon.com.cn
地址：北京市朝阳区针织路中国人寿金融中心33层
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伟达（中国）公共关系顾问有限公司
何苗
电话： 13683321405
Email：Irina.He@hkstrategies.com
地址：北京市东城区金宝街89号金宝大厦9层
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